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納米信息與表面技術研究室

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致力于納米技術在電子信息與表面技術領域的應用,研究實用新型納米電子信息材料、器件、裝備制造技術及薄膜表面技術的應用,建立滿足市場需求的納米電子信息及表面技術應用平臺,促進我國納米技術在信息材料與表面技術領域的發展。
? ? ? ? 一、研究方向
實用納米電子信息材料與器件的研發,新型微納米傳感材料與器件的開發,新型薄膜材料研制,新型納米材料加工裝備,信息材料表面性能、形貌測試服務及相關測試技術。
? ? ? ? 二、研究內容
1. 低維半導體納米材料制備及其應用;
2. 新型納米半導體(光電、電磁等)材料與器件開發;
3. 新型氣敏傳感材料、器件及其測試系統開發;
4. 新型納米薄膜及其制備技術研發;
5. 基于原子層沉積技術的加工技術及裝備開發。
? ? ? ? 三、發展現狀
技術方面:系統研究了多種低維納米半導體材料結構與性能關系,掌握了低維納米半導體材料的制備及結構調控技術;開發了多種低維納米氣體傳感材料、光電功能材料、器件、功能薄膜材料及納米薄膜加工裝備。
科研方面:多年來承擔國家、地方、企事業研發和服務項目累計40余項;申請國家發明專利100多項,其中授權40余項;開發各類技術成果及產品近20項;在有關期刊和會議發表論文60余篇。
硬件方面:擁有先進的納米電子功能材料及其器件的制備及檢測手段,氣體傳感材料、器件以及檢測系統研究開發手段;大尺寸原子層沉積系統等新型納米薄膜加工、檢測手段。
團隊方面:聘請國內多位知名專家為兼職/顧問教授,建立了一支具有豐富經驗的產學研用技術團隊,多人次獲得各類人才計劃稱號,并與多家高校及科研院所建立了長期的合作關系。

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